دستگاه های استریل یو وی برای استفاده از بخار فشار بالا و دمای بالا برای از بین بردن میکروارگانیسم ها طراحی شده اند. آنها همچنین برای غیرفعال کردن مواد خطرناک زیستی استفاده می شوند. برای اینکه یو وی استریل موثر باشد، موادی که قرار است استریل شوند باید با بخار اشباع شوند. اگر بخار یا هوای کافی در مواد وجود نداشته باشد، آلودگی زدایی انجام نمی شود.
عقیم سازی شامل تخریب مطلق همه میکروارگانیسم ها از جمله باکتری های مقاوم، هاگ های باکتری، تک یاخته ها، پریون ها، ویروس ها و قارچ هایی است که در مایعات، روی سطوح مواد، در داروها یا محیط های کشت وجود دارند. نابودی مطلق یعنی همین. چیزی به نام "عقیم سازی جزئی" وجود ندارد. دستیابی به حالت استریل شده می تواند دشوار و همچنین اثبات آن دشوار باشد. تحت برخی شرایط، استریل کردن با بخار روش ترجیحی برای استریل کردن است و با دناتوره کردن پروتئین ها کار می کند. پروتئین های دناتوره شامل انعقاد پروتئین است که با تغییر در ساختار پروتئین در حضور گرما ایجاد می شود.
مواد شیمیایی توانایی کشتن میکروارگانیسم ها را دارند، با این حال، ممکن است کاملاً مؤثر نباشند و ممکن است بقایای نامطلوب یا بالقوه سمی را پشت سر بگذارند. با این وجود، ضدعفونی کننده های شیمیایی زمانی استفاده می شوند که حرارت به مواد آسیب برساند. می توان از پرتوهای یونیزه کننده و UV استفاده کرد و DNA را برای جلوگیری از تکثیر مختل یا اصلاح می کند، اما ممکن است اثر مورد نظر را ایجاد نکنند و اعتبارسنجی کمی مشکل است. در نهایت، استریلیزاسیون با حرارت مرطوب برتر است و روش ارجح برای استریل کردن است.
اکثر میکروارگانیسم ها در دمای بالای 80 درجه سانتیگراد از بین می روند. از طرف دیگر پریون ها برای غیرفعال کردن آنها به دمای بالاتر و زمان طولانی تری نیاز دارند. در فرآیند استریل کردن حرارت مرطوب، مولکول های بخار روی میکروارگانیسم های خنک تر متراکم می شوند. سپس مولکولهای بخار 2500 ژول در هر گرم بخار میکروارگانیسمها را به دمایی منتقل میکنند که از بین میروند. سایر روشهای گرمایشی که حرارت کمتری گازهای خشک را انتقال میدهند، تمایل به ایجاد اثرات لایه مرزی دارند. این در نهایت یک اثر عایق ایجاد می کند که در نهایت از میکروارگانیسم ها محافظت می کند.